真空計（Vacuum Gauge)，又稱規(guī)，是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測量。

1、用電離計檢漏時，示漏物質(zhì)應(yīng)選用電離效果與殘余氣體有可能大差異者，電離效果包括電離率及電離電位兩者的綜合結(jié)果，一般用氫，氦，二氧化碳等。

2、用熱真空計檢漏時，示漏物質(zhì)可用氫，二氧化碳，丙酮。酒精等。一般說來，用氣體噴吹用液體覆蓋為好，因為液體往往會堵塞漏孔，還會污染真空系統(tǒng)或器件，熱真空計因為慣性大，反應(yīng)慢，檢漏時巡噴速度不宜過快，并仔細(xì)觀察，認(rèn)真判別是系統(tǒng)的壓強波動，儀器的漂移或是真正存在漏孔。只有示漏物質(zhì)離開后，儀器指示恢復(fù)原狀的，才是真正的漏孔。熱真空計檢漏，要在它的測量范圍的真空度下，才能有效，即只適用于10^-1——10^-3托的真空度范圍。它哪呢過檢出最小漏孔為1*10^-5托升/秒。

電離計的反應(yīng)熱真空計快，但因示漏氣體在真空系統(tǒng)中建立足夠分壓需要較長時間，故巡噴速度亦不能太快。電離計能檢漏的壓力范圍，大致同于其測量范圍，故各種類型電離計各有其檢漏的壓力范圍。電離計能檢的最小可檢漏孔約為1*10^-6——1*10^-7托升/秒。

在真空計檢漏中，即使示漏氣體對著漏孔噴吹。或者示漏液體涂于漏孔，實際上都不可避免要夾帶有空氣進(jìn)去，即示漏物質(zhì)并沒有*取代空氣。帶進(jìn)去的空氣一方面沖淡了示漏物質(zhì)的作用，另一方面還會引起不必要的讀數(shù)波動，因為混進(jìn)的空氣分量時大時小。